액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그의 제조 방법

array panel of liquid crystal display and manufacturing method thereof

Abstract

본 발명은 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 액정 표시 장치용 어레이 기판은 통상적으로 5장 내지 6장의 마스크를 이용하여 제조되는데, 마스크 수를 적게 하여 제조함으로써 제조 비용을 감소시키는 것이 바람직하다. 본 발명에서는 보호층과 액티브층의 한번의 사진 식각 공정으로 형성하는데 있어서, 게이트 링크부에서 단선이 일어나는 것을 방지하기 위해 게이트 링크부 상에 화소 전극이나 보호층과 동일한 물질로 보호 패턴을 형성한다. 따라서, 마스크 수가 감소되어 제조 비용을 줄이면서 게이트 링크부의 단선을 방지할 수 있다. 한편, 보호 패턴을 화소 전극과 동일한 물질로 형성할 경우에는 단선이 발생하였을 때 레이저로 게이트 링크부와 보호 패턴을 단락시켜 단선을 수리할 수도 있다. 4마스크, 단선, 핀홀, 게이트 링크

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Patent Citations (1)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    KR-20000065687-ANovember 15, 2000윤종용, 삼성전자 주식회사액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 제조 방법

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    Title
    1020000065687

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