다결정 실리콘, 그 제조 방법 및 제조 장치

Polycrystline silicon and process and apparatus for producing the same

Abstract

내부에 기포를 가지며 겉보기 밀도가 2.20 g/㎤ 이하인 기포 함유 다결정 실리콘. 이 실리콘은 파쇄시 미립자의 발생이 매우 적으며, 또한 용이하게 분쇄할 수 있다. 이러한 실리콘은 수소의 존재하에서 용융시킨 수소를 포함하는 실리콘의 액체방울을 0.2 내지 3 초 동안 자연 낙하시키고, 액체방울 중에 수소 기포를 가두어 넣은 상태로 냉각시킴으로써 제조된다. 이러한 실리콘은 실리콘의 석출(析出)·용융이 통 형상 용기의 내면에서 행해지고, 통 형상 용기 내의 실리콘의 용융역까지 클로로실란류 공급관이 삽입되고, 통 형상 용기와 클로로실란류 공급관의 틈새에 밀봉 가스를 공급하는 구조를 갖는 장치에서 제조된다. 클로로실란, 밀봉 가스

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Patent Citations (1)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-H11314996-ANovember 16, 1999Digital Wave:Kk, 有限会社デジタル・ウェーブCrystal producing method and equipment therefor

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    Title
    11314996

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