弾性表面波デバイス

Surface acoustic wave device

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a structure of a SAW device which is robust against heat cycles and whereby bulk wave spurious radiation excited by IDT electrodes is suppressed. SOLUTION: In the surface acoustic wave device, the IDT electrodes 3, 4 are arranged along a propagating direction of a surface acoustic wave on a principal side of a piezoelectric substrate 1, and cuts 2 are formed almost on the whole rear side of the piezoelectric substrate along the length direction. The depth of the cuts 2 is selected about 20% of the thickness of the piezoelectric substrate. COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
【課題】 圧電基板の長手方向に対し45度の切り込み(ハーフカッティング)を入れたSAWデバイスは、バルク波による伝送特性、群遅延時間特性の劣化は大幅に改善されるもののヒートサイクル試験で45%強が破損するという問題があった。本発明はヒートサイクルに強固であり且つIDT電極により励起されるバルク波スプリアスを抑圧することが可能なSAWデバイスの構造を提供することを目的とする。 【解決手段】 圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方向に沿ってIDT電極を配置した弾性表面波デバイスにおいて、前記圧電基板の裏面のほぼ全面に長手方向に沿って切り込みを入れて弾性表面波デバイスを構成する。 【選択図】 図1

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Patent Citations (2)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-2001358558-ADecember 26, 2001Toko Inc, 東光株式会社Surface acoustic wave filter
    JP-H1168496-AMarch 09, 1999Toyo Commun Equip Co Ltd, 東洋通信機株式会社弾性表面波デバイスの構造及び製造方法

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    JP-2008283337-ANovember 20, 2008Epson Toyocom Corp, エプソントヨコム株式会社弾性表面波デバイス及び弾性表面波デバイス・ウエハーの製造方法